硅具有散熱性好、強度高、價(jià)格適中、純度高、耐腐蝕等優(yōu)點(diǎn)。隨著(zhù)微電子技術(shù)的發(fā)展，硅材料的加工技術(shù)日趨成熟。硅材料首先用于生產(chǎn)這種產(chǎn)品。由于其良好的光潔度和成熟的加工工藝，可用于微泵、微閥、模具等器件。到目前為止，玻璃已經(jīng)廣泛應用于該芯片的生產(chǎn)中，采用光刻和蝕刻技術(shù)可以將微通道網(wǎng)絡(luò )化在玻璃材料上，其優(yōu)點(diǎn)是具有一定的強度，散熱性、透光性和絕緣性都比較好，非常適合于通常的樣品分析。

　　微流控芯片采用類(lèi)似半導體的MEMS技術(shù)在芯片上構建微流控系統。將實(shí)驗和分析過(guò)程轉移到由互連通道和液室組成的芯片結構上。在裝載生物樣品和反應液后，使用微機械泵。

　　電液泵和電滲流驅動(dòng)緩沖液在芯片內流動(dòng)形成微流道，在芯片上進(jìn)行一個(gè)或多個(gè)連續反應。激光誘導熒光（LIF）、電化學(xué)和化學(xué)檢測系統以及與質(zhì)譜聯(lián)用的多種檢測方法已被應用于流控芯片中，以實(shí)現對樣品的快速、準確和高通量分析。

　　微反應器通常用于芯片實(shí)驗室的生化反應，如毛細管電泳、聚合酶鏈反應、酶反應和DNA雜交等。其中，電壓驅動(dòng)毛細管電泳易于在微流控芯片上實(shí)現，已成為發(fā)展快的技術(shù)。在芯片上刻蝕毛細管通道，樣品溶液在電滲流的作用下在通道中游動(dòng)，完成樣品的檢測和分析。如果在芯片上構建毛細管陣列，可以在幾分鐘內完成數百個(gè)樣品的并行分析。